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超聲波氣靜壓電主軸
發(fā)明專利號201911122869.2；氣靜壓電主軸，旋轉(zhuǎn)精度0.1um；額定轉(zhuǎn)速8萬轉(zhuǎn)/分，額定功率1.5KW；超聲波頻率范圍2～5萬Hz可調(diào)；超聲波振幅范圍3～6um可調(diào)。（公示階段）
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碳化硅晶圓劃片超聲波主軸
實用新型專利號201921979720.1，發(fā)明專利號201911122869.2（公示）;超精密氣靜壓主軸，主軸額定轉(zhuǎn)速6萬rpm，旋轉(zhuǎn)精度0.1um，永磁同步電機，無級調(diào)速；有超聲和無超聲雙工作方式，超聲波頻率2～5萬Hz 可調(diào)，振幅1～3um可調(diào)；高速、高效，一軸兩用。
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碳化硅晶圓減薄超聲波主軸
實用新型專利號202022644251.7，發(fā)明專利號201911122869.2（公示）;超精密氣靜壓主軸，主軸旋轉(zhuǎn)精度0.1um，永磁同步電機，高精度編碼器，無級調(diào)速；有超聲和無超聲雙工作方式，超聲波頻率2～5萬Hz 可調(diào)，振幅1～3um可調(diào)；高速、高效，一軸兩用。
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氣靜壓（氣浮）導(dǎo)軌
發(fā)明專利號201510300840.4；超高精度，直線度可達0.3um/m；無摩擦，不磨損，長壽命；運行高速、動態(tài)平穩(wěn)；低耗氣量，低碳綠色環(huán)保。
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超精密內(nèi)外圓磨床
發(fā)明專利號201110213261.8；旋轉(zhuǎn)精度0.1um超聲波氣靜壓電主軸;直線度0.3um氣靜壓導(dǎo)軌，直線電機，精密光柵尺，高精度數(shù)控系統(tǒng)全閉環(huán)控制，天然花崗巖床身，空氣彈簧減震。
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超精密光學曲線磨床
發(fā)明專利2項，實用新型專利2項；氣靜壓電主軸，旋轉(zhuǎn)精度0.1um；氣靜壓導(dǎo)軌，直線度0.3um/m；直線電機，光柵尺，數(shù)控系統(tǒng)全閉環(huán)控制；光學成像，花崗巖床身，空氣彈簧減震。
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公司簡介
洛陽傳順機械設(shè)備有限公司注冊成立于2008年9月，是一家股份制高新技術(shù)企業(yè)。公司專業(yè)從事超精密氣靜壓主軸以及裝備的研發(fā)制造銷售。 公司先后被認定為:河南省科技型中小企業(yè)；洛陽市納米加工裝備技術(shù)企業(yè)研發(fā)中心；河南省高新技術(shù)企業(yè)；通過ISO9001:2015質(zhì)量管理體系認證。 大事記 1、2008年9月1日洛陽傳順機械設(shè)備有限公司注冊成立。 2、2009年推出“高精度劃片機氣靜壓電主軸”，獲得多項實用新型專利。 3、2010年推出“超精密氣靜壓內(nèi)外圓磨床”，獲得國家發(fā)明專利。 4、2013年推出“超精密氣浮導(dǎo)軌”，獲得國家發(fā)明專利。 5、2018年成功制造出“光刻機氣浮導(dǎo)軌”，在客戶光刻機上使用 ...

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